晶圆准备:
首先,选择合适的晶圆作为基材,通常选择硅基片作为晶圆。
对晶圆进行清洁和表面处理,以确保凸点能够良好地附着。
凸点形成:
金属化:在晶圆表面通过物理气相沉积(PVD)或化学气相沉积(CVD)等技术,沉积一层金属膜,如铜、镍、锡等。这一步骤被称为金属化,为后续形成焊点做准备。
光刻:通过在金属化层上涂覆光刻胶,然后通过光刻曝光、显影等步骤,形成光刻图形,即将焊球位置的图形暴露出来。
蚀刻:使用酸性或碱性溶液对未被光刻保护的金属层进行蚀刻,形成焊球的基础。
焊球形成:在暴露的金属基础上,通过电镀或其他方法,沉积焊球材料(通常是锡合金)来形成微小的焊球。
芯片接合:
将经过凸点形成的晶圆与芯片进行接合,通常采用焊接等技术,将芯片的金属引脚与焊球连接起来。
封装和测试:
将接合完成的芯片放置在PCB或其他基板上,并使用封装工艺将其封装起来。
完成封装后,对芯片进行测试,以确保焊点连接的质量和可靠性。