切割:
从晶圆代工厂(Foundry)生产完成的晶圆(Wafer)经过测试后进入生产线类似传统封装,扇出型封装第一步也需要将来料晶圆切割成为裸晶。扇出型封装的主要特点是将切割后的裸晶组合成为重构晶圆,与来料晶圆相比,重构晶圆上裸晶之间的距离相对更大,因此方便构造单位面积更大,输入输出(I/O)更多的芯片成品。
塑封、去除载片:
完成重构晶圆的贴片后,对重构晶圆进行塑封以固定和保护裸晶。然后将重构晶圆载片移除,从而将裸晶对外的输入输出接口(I/O)露出。
制作再布线层:
为了将裸晶上的接口(I/O)引出至方便焊接的位置,在晶圆上通过金属布线工艺制作再布线层(RDL)。
晶圆减薄:
为使芯片成品更轻薄,对晶圆进行减薄加工。
植球:
在再布线层(RDL)所连接的金属焊盘上进行植球,方便后续芯片在印刷电路板(PCB)上的焊接。
晶圆切割、芯片成品:
最后将重构晶圆进行切割,以得到独立的芯片。